高純度氧化鋁陶瓷機械手臂 高純度氧化鋁陶瓷機械手臂被用在半導體晶圓生產過程中，主要是用來抓取晶圓，通常采用高純的氧化鋁制作，也可以使用碳化硅陶瓷制作，它也被稱為“末端執行器”（半導體陶瓷）。高純度氧化鋁陶瓷機械手臂是晶圓轉運過程中必須用到的一