搜索關(guān)鍵詞: 氮化硅陶瓷加工 氮化鋁陶瓷加工 macor可加工微晶玻璃陶瓷
產(chǎn)品名稱(chēng) | 陶瓷手指 |
加工精度 | 0.005mm |
是否定制 | 按圖定制 |
粗糙度 | Ra0.3 |
材料成分 | 99.7-99.8氧化鋁 |
我要定制 | 按客戶(hù)需求接受定制;歡迎來(lái)廠(chǎng)參觀! |
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997氧化鋁陶瓷手指
陶瓷手指常常被用在半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)過(guò)程中,通過(guò)它來(lái)抓取晶圓,一般采用高純氧化鋁制作,它也被稱(chēng)為“末端執(zhí)行器”(半導(dǎo)體陶瓷)。997-998氧化鋁陶瓷手指是晶圓生產(chǎn)過(guò)程中必須用到的一款產(chǎn)品,鈞杰陶瓷擁有豐富的加工經(jīng)驗(yàn),采用高純氧化鋁陶瓷材料,經(jīng)過(guò)多道工序精密加工而成。目前我們生產(chǎn)2-12寸各型號(hào)陶瓷手指,以下是我司生產(chǎn)的幾款陶瓷手指展示。
晶圓加工中對(duì)“陶瓷手指”的需求以及它必須具備的特性
陶瓷手指構(gòu)成機(jī)械臂的末端,用于在位置之間處理和移動(dòng)半導(dǎo)體晶片。它基本上是機(jī)器人的手,因此重要的是它具有熱穩(wěn)定性和尺寸穩(wěn)定性,并且不會(huì)被顆粒或化學(xué)污染物污染腔室。
使用氧化鋁陶瓷而不是鋁金屬有哪些主要優(yōu)點(diǎn)?
陶瓷手指因其剛度和高強(qiáng)度而被使用,這意味著機(jī)器人手臂比鋁更快地固定到其最終位置。此外,機(jī)器人本身的運(yùn)動(dòng)速度更快,優(yōu)化了定位精度并提高了效率。
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