搜索關(guān)鍵詞: 氮化硅陶瓷加工 氮化鋁陶瓷加工 macor可加工微晶玻璃陶瓷
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特種藍(lán)寶石玻璃是一種人工合成的高純度α-Al?O?晶體材料,它具備莫氏硬度9級(jí)、透光率超過(guò)88%、耐高溫(1700℃)以及抗腐蝕等諸多優(yōu)良特性。其加工精度主要由材料特性與加工工藝的協(xié)同優(yōu)化來(lái)決定,目前行業(yè)內(nèi)領(lǐng)先水平能夠?qū)崿F(xiàn)以下關(guān)鍵指標(biāo):
一、核心加工精度參數(shù)
1. 表面粗糙度:借助磁流變拋光技術(shù),能夠達(dá)到Ra≤0.1μm的鏡面效果,滿足高端光學(xué)元件的要求。
2. 平面度:通過(guò)數(shù)控精密磨削,平面度可以控制在≤1μm(在Φ100mm范圍內(nèi))。
3. 厚度公差:采用超聲波切割與化學(xué)機(jī)械拋光相結(jié)合的方式,厚度控制精度能夠達(dá)到±5μm。
4. 邊緣崩邊:利用激光切割配合離子束蝕刻技術(shù),崩邊尺寸可以控制在≤10μm。
二、關(guān)鍵影響因素
1. 材料特性:藍(lán)寶石晶體的各向異性使得不同晶向的加工效率存在超過(guò)30%的差異。
2. 設(shè)備精度:高精度數(shù)控磨床的主軸跳動(dòng)需要控制在0.5μm以內(nèi)。
3. 工藝組合:采用粗加工(線切割)、半精加工(金剛石砂輪磨削)以及精加工(CMP拋光)的階梯式工藝路線。
4. 環(huán)境控制:加工環(huán)境的溫度需要穩(wěn)定在23±0.5℃,濕度控制在50±5%RH。